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半導體實驗室的凈化方案

更新時間:2022-12-22      點擊次數(shù):8516

隨著各類產品生產工藝技術、產品性能的不斷研究開發(fā)、升級和各種使用要求,工業(yè)裝修對空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高,尤其是5G熱潮襲來、半導體集成電路的高速發(fā)展是潔凈度等級的擴大和控制微粒粒徑日益嚴格的重要標志。

千級凈化工程的應用在機械電子等行業(yè)的裝修設計中較為廣泛使用。千級潔凈室指的是微塵數(shù)量被控制在每立方米1000個以內,同時為了防止?jié)崈艨臻g受外界污染,在室內壓差上也有所要求,通常要求內部壓力(靜壓)>外部壓力(靜壓);潔凈度要求高的空間壓力>潔凈度要求低的空間壓力;潔凈室門的朝向應開向潔凈度級別高的房間。

千級潔凈室要獲得良好的潔凈效果,不僅要著重采取合理的空調凈化措施,而且也要求工藝、建筑及其他專業(yè)采取相應的措施:不但要有合理的設計,而且還要精心的符合規(guī)范的施工安裝,以及正確的使用潔凈室和科學的維護管理。

實驗室凈化空調方案

方案一:傳統(tǒng)的凈化空調設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如初效過濾段、混合段、表冷段、中效過濾段、二次回風段(或中間段)加濕段、加熱段、風機段等。其中冷源主要由冷水機組提供。

方案二:比較簡單的潔凈空調設計方案。不僅可以大大地縮小機房的面積,還可以讓水冷柜機根據具體的情況布置在較小的凈化車間內或機房內,同時還可以將增壓風柜布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。

方案三:主要用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間,是最簡易的空調方案。可直接將分體空調柜機布置于車間內,并用彩鋼圍護起來,在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網);風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。


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